Пористий керамічний вакуумний патрон для обробки деформованих пластин
Пористий керамічний патрон St.Cera виготовлений з високочистого оксиду алюмінію з рівномірною відкритою пористістю 30–45% та розмірами пор від 10 до 100 мкм. На відміну від звичайних пазових патронів, пориста поверхня забезпечує розподілений вакуум по всій зворотній стороні пластини, ефективно утримуючи деформовані, тонкі або окремі пластини без відшаровування або поломки країв. М'який вакуум (регулюється за допомогою обмежувача) також запобігає появі слідів на зворотній стороні.
Специфікації(на основі 99,6% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Пористість | 30–45% |
| Середній розмір пор | 10–100 мкм (вибір) |
| Міцність на згин | ≥250 МПа |
| Площинність (понад 300 мм) | ≤5 мкм |
| Оздоблення поверхні | Притирання (Ra 0,8 мкм) |
| Максимальний рівень вакууму | -80 кПа |
| Робоча температура | 400°C (повітря), 600°C (інертний) |
| Матеріал | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ або SiC |
Застосування:
Шліфування зворотного боку тонкої пластини (≤50 мкм)
Деформоване кріплення пластини для нарізки
Одиночне захоплення штампа зі стрічки
Обробка скляних панелей
Виробництво та якість:
Керамічний порошок, змішаний з органічними пороутворювачами → пресований → спіканий → притираний до кінцевої товщини. Кожен патрон випробовується на рівномірність вакууму (відхилення ≤5%) та перевіряється на розподіл розмірів пор (SEM). Плоскість вимірюється лазерним інтерферометром.
Переваги перед пазовими патронами:
Відсутність маркування країв пластини або зсуву кристала
Утримує деформовані пластини (довжина вигину до 500 мкм)
Усуває засмічення вакуумного отвору
Самовирівнювальна опора для тонких поверхонь
Налаштування:
Круглі або прямокутні форми, розміром до 600 мм. Ми можемо застосовувати кільця для ущільнення країв або зонні вакуумні перегородки. Доступні версії з металевою підкладкою для вимог високої жорсткості.
Замовте зразок для перевірки розміру пластини та деформації.
