Керамічні деталі з високоточних керамічних кілець з глинозему

Короткий опис:

Виготовлені методом холодного ізостатичного пресування та спікання за високої температури, а потім прецизійно оброблені та поліровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам до напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції. Кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.

Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.