Кінцевий ефектор з глиноземної кераміки з інтегрованими вакуумними каналами
Вакуумний кінцевий ефектор St.Cera з оксиду алюмінію інтегрує прецизійно оброблені вакуумні канали та всмоктувальні отвори безпосередньо в корпус з високочистого оксиду алюмінію 99,8%. Така конструкція усуває зовнішні вакуумні прокладки, що дозволяє здійснювати прямий захоплення пластини з рівномірною силою утримання. Висока міцність матеріалу на вигин (361 МПа) та твердість (16 ГПа) забезпечують довготривалу розмірну стабільність при повторних циклах вакуумування. Площинність по всій площі прокладки підтримується в межах 10 мкм, що запобігає напруженню та поломці пластини. Вакуумні порти розташовані на задньому монтажному фланці для легкої інтеграції з OEM-маніпуляторами роботів.
Специфікації(на основі 99,8% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплове розширення | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Плоскість колодки | ≤10 мкм |
| Ширина вакуумного каналу | 0,5–2,0 мм |
| Максимальна робоча температура | 800°C |
Застосування:
● Вакуумне захоплення тонких або деформованих пластин
● Безпосереднє маніпулювання пластиною без захоплення країв
● Перенесення підкладки сонячних елементів та світлодіодів
Виробництво:
Спечена заготовка з глинозему → 5-осьове свердління вакуумних каналів та отворів на верстаті з ЧПК → притирання поверхні → ультразвукове очищення → випробування на герметичність гелієм. Кожен ефектор проходить 100% випробування на рівномірність вакууму за допомогою потоку.
Переваги:
● Відсутність зовнішніх вакуумних прокладок (зменшує кількість джерел частинок)
● Рівномірний тиск утримання запобігає появі плям на пластині
● Хімічно інертний та сумісний з чистими приміщеннями
