-
Кінцевий ефектор з високочистого оксиду алюмінію з кераміки для роботів для обробки пластин
Кінцевий ефектор St.Cera з оксиду алюмінію кераміки виготовлений з високочистого Al₂O₃ (99,8%) за допомогою передового 5-осьового шліфувального обладнання з ЧПК. Наші виробничі потужності включають прецизійні шліфувальні верстати та обробні центри з ЧПК, що дозволяє створювати складні геометрії з високою точністю. Кінцевий ефектор має тонкий профіль (товщиною до 1,5 мм) з конічною передньою кромкою для плавного введення пластини. Матеріал забезпечує високу жорсткість (модуль Юнга 380 ГПа), відмінну зносостійкість та термостабільність до 800°C. Кожен блок прецизійно шліфується для досягнення площинності 0,003 мм, паралельності 0,002 мм та якості поверхні Ra0,1, що забезпечує стабільний контакт з пластиною та роботу без частинок у середовищах FAB напівпровідників. Доступний довжиною від 150 мм до 450 мм, зі спеціальними геометріями наконечників (захоплення кромки, Бернуллі, плоский) та монтажними фланцями для встановлення на роботів OEM. Варіанти обробки поверхні включають притирання, полірування або покриття, що розсіює електростатичний заряд (10⁶–10⁹ Ω/кв.м).
-
ST.CERA Кінцевий ефектор Бернуллі з глинозему на замовлення
Як провідний виробник керамічного кінцевого ефектора/маніпулятора, ми розробили нетрадиційний кінцевий ефектор/маніпулятор, який відповідає потребам цього ринку. Керамічний кінцевий ефектор/маніпулятор, заснований на принципі Бернуллі, який може левітувати та транспортувати пластину за допомогою повітряного потоку з мінімальним периферійним контактом.
-
ST.CERA Індивідуальний кінцевий ефектор ESD з кераміки
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
-
Захоплювальний кінцевий ефектор ST.CERA з глиноземної кераміки на замовлення
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
-
Кінцевий ефектор лотка ST.CERA з глинозему на замовлення
Це керамічний кінцевий ефектор/маніпулятор лоткового типу, що використовується у вакуумі.
Керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор є «більш термостійким», «менш прогинним» та «легшим» за вагою порівняно з металевими.
-
ST.CERA Вакуумний кінцевий ефектор з глиноземної кераміки на замовлення
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
-
Кінцевий ефектор ST.CERA з глиноземної кераміки на замовлення
ST.CERA пропонує кінцевий ефектор з антистатичним покриттям та керамічним матеріалом ESD. Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений холодним ізостатичним пресуванням, високотемпературним спіканням та прецизійною обробкою, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має ступінь обробки поверхні Ra 0,1 та термостійкість 1600 ℃.
-
ST.CERA Вакуумний кінцевий ефектор з глиноземної кераміки на замовлення
Це керамічний кінцевий ефектор/маніпулятор лоткового типу, що використовується у вакуумі.
Керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор є «більш термостійким», «менш прогинним» та «легшим» за вагою порівняно з металевими.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
ST.CERA індивідуальне оброблення пластин кінцевого ефектора з глиноземної кераміки
ST.CERA пропонує кінцевий ефектор/маніпулятор з антистатичним покриттям та керамічним матеріалом ESD з вбудованим порожнистим каналом. Ми спеціалізуємося на техніці, яка формує вакуумний повітряний канал всередині цільного шматка матеріалу без використання клею.
Немає ризику забруднення, виділення газів або частинок. Вакуумний кінцевий ефектор/маніпулятор ST.CERA зі спеціальною технологією покриття має електроізольацію. Ми також можемо виготовити керамічний матеріал ESD з електроізольацією без будь-якого покриття.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃. -
Компоненти напівпровідникового обладнання з глиноземної кераміки для кінцевого ефектора
Запобігайте потраплянню частинок, які можуть утворюватися зі скошених або кутових країв та задньої поверхні під час транспортування пластин або їх контакту з кінцевим ефектором/маніпулятором.
Для напрямних використано м'який матеріал, який не пошкоджує пластину.
Розрідження можливе завдяки вбудованій технології вакуумних каналів ST.CERA, яка не використовує клеї.
Можливість виконання монтажних отворів та зміни довжини та ширини основи, де на роботу монтується кінцевий ефектор / маніпулятор.
Кріплення датчиків, гвинтів та кронштейнів доступне як опція.
Призначений для використання в атмосфері.
-
Індивідуальна обробка на верстатах з ЧПК керамічного кінцевого ефектора St.Cera
ST.CERA пропонує вакуумний керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор із вбудованим порожнистим каналом. Ми спеціалізуємося на техніці, яка формує вакуумний повітряний канал всередині цільного шматка матеріалу без використання клею.
Немає ризику забруднення, виділення газів або частинок. Вакуумний кінцевий ефектор/маніпулятор ST.CERA з вбудованим каналом є міцним та може використовуватися за високих температур. Крім того, наші виробничі витрати можна зменшити, виключивши непотрібне складання.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Антистатичний керамічний кінцевий ефектор з глинозему
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
