Кінцевий ефектор з високочистого оксиду алюмінію з кераміки для роботів для обробки пластин

Кінцевий ефектор St.Cera з глиноземної кераміки виготовлений з високочистого Al₂O₃ (99,8%) за допомогою передового 5-осьового шліфувального обладнання з ЧПК. Наші виробничі потужності включають прецизійні шліфувальні верстати та обробні центри з ЧПК, що дозволяє створювати складні геометрії з високою точністю. Кінцевий ефектор має тонкий профіль (товщиною до 1,5 мм) з конічною передньою кромкою для плавного введення пластини. Матеріал забезпечує високу жорсткість (модуль Юнга 380 ГПа), відмінну зносостійкість та термостабільність до 800°C. Кожен блок прецизійно шліфується для досягнення площинності 0,003 мм, паралельності 0,002 мм та якості поверхні Ra0,1, що забезпечує стабільний контакт з пластиною та роботу без частинок у середовищах FAB напівпровідників. Доступний довжиною від 150 мм до 450 мм, зі спеціальними геометріями наконечників (захоплення кромки, Бернуллі, плоский) та монтажними фланцями для встановлення на роботів виробника оригінального обладнання. Варіанти обробки поверхні включають притирання, полірування або покриття, що розсіює електростатичний заряд (10⁶–10⁹ Ω/кв.м).

Технічні характеристики (на основі 99,8% Al₂O₃& Виробничі потужності St.Cera):

Застосування:

• · Перенесення пластин у вакуумних та атмосферних роботах
• · Кінцеві ефектори FAB автоматизації для пластин 200 мм/300 мм
• · Обробка тонких пластин (з опцією ESD)

Виробничі можливості:
Наші прецизійні шліфувальні верстати та обробні центри з ЧПК дозволяють виготовляти складні керамічні компоненти з:

• · Максимальна довжина обробки: 1500 мм
• · Максимальний зовнішній діаметр: 600 мм
• · Мінімальний внутрішній діаметр: 0,2 мм
• · Максимальна товщина: 100 мм

Контроль якості:
Прямолінійність 0,005 мм, перпендикулярність 0,005 мм, округлість 0,002 мм, паралельність 0,002 мм, концентричність 0,01 мм, перевірені за допомогою КВМ. Кожен блок проходить ультразвукове очищення та упакований для чистих приміщень класу 100.