Вакуумний патрон з пористого карбіду кремнію з металевою підкладкою для обробки деформованих та тонких пластин
Вакуумний патрон St.Cera на металевій основі з кераміки поєднує пористий керамічний шар карбіду кремнію (SiC) з прецизійно обробленою металевою основою (алюміній або нержавіюча сталь). Пористий матеріал SiC (синьо-чорний, пористість 35–40%, розмір пор 20–30 мкм, проникність 60 мл/см²·хв) забезпечує рівномірний, м'який розподіл вакууму по всій поверхні пластини, усуваючи маркування країв та забезпечуючи безконтактну підтримку тонких (≤100 мкм) або деформованих пластин. Шар SiC забезпечує низьке теплове розширення (3,5×10⁻⁶/℃), термостабільність до 1000°C та помірну міцність на вигин (32–35 МПа). Металева основа додає структурної жорсткості, легко монтується через різьбові отвори та захищає від крихкого руйнування. Цей патрон ідеально підходить для шліфування зворотного боку, нарізки кубиками та високотемпературної обробки пластин, де рівномірний вакуум та теплова сумісність є критично важливими.
Технічні характеристики (на основі наданих даних про пористий SiC):
| Нерухомість | Значення |
| Керамічний матеріал | Пористий карбід кремнію (SiC ≥80%) |
| Колір | Синьо-чорний |
| Пористість | 35–40% |
| Розмір пор | 20–30 мкм |
| Щільність | 2,1–2,3 г/см³ |
| Проникність | 60 мл/см²·хв |
| Міцність на згин | 32–35 МПа |
| Коефіцієнт теплового розширення (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимальна робоча температура | 1000°C |
| Електричний опір | 10⁻¹⁰ Ω/см (згідно з наданими даними, типово для пористого SiC) |
| Металевий основний матеріал | Алюміній 6061 або нержавіюча сталь 304 (необов'язково) |
| Товщина металевої основи | 10–30 мм (на замовлення) |
Примітка: Міцність на згин нижча, ніж у щільного SiC через пористість. Властивості металевої основи не отримані з керамічних таблиць.
Застосування:
- · Шліфування зворотної сторони тонких пластин (≤100 мкм)
- · Деформоване кріплення пластини для нарізки
- · Високотемпературне затискання пластин (до 1000°C)
- · Вакуумне кріплення для пористих або крихких поверхонь
Виробництво:
Пориста пластина з карбіду кремнію (сформована з пороутворювачами, спечена) → оброблена до площинності ≤10 мкм → металева основа, оброблена вакуумними портами та монтажними елементами → епоксидне склеювання або механічне затискання → випробування на герметичність гелію.
Контроль якості:
- · Пористість та розмір пор підтверджені за допомогою SEM
- · Випробування на проникність (потік повітря)
- · Плоскість виміряна лазерним інтерферометром
- · Швидкість витоку гелію <1×10⁻⁹ Па·м³/с
Переваги перед пазовими або щільними керамічними патронами:
- · Без маркування пластини – рівномірний вакуум без окремих отворів
- · Самоочищення пор – зменшення їх засмічення
- · Обробляє деформовані пластини (вигин до 500 мкм)
- · Металева основа запобігає крихкому руйнуванню та спрощує інтеграцію
Обмеження:
- · Нижча міцність на згин (32–35 МПа) – уникайте ударного навантаження
- · Робоча температура обмежена 1000°C (пористий SiC), але епоксидний зв'язок на металевій основі обмежений ≤200°C, якщо не закріплено механічно
- · Не для вакууму високого тиску (пориста структура обмежує максимальний перепад вакууму)
Налаштування:
- · Металева основа: алюміній (легкий), нержавіюча сталь (стійка від корозії), інвар (низьке розширення)
- · Склеювання: епоксидна смола (≤200°C) або механічний затискач (до 500°C)
- · Ущільнювальне кільце для зонального контролю вакууму
Зверніть увагу: міцність на вигин (32–35 МПа) значно нижча, ніж у щільної кераміки через пористість. Поводьтеся обережно, щоб уникнути відколів по краях.
