Керамічний кінцевий ефектор з тефлоновим покриттям – антипригарна поверхня для чутливого поводження з пластинами
Керамічний кінцевий ефектор St.Cera з тефлоновим (PTFE) покриттям поєднує високоміцну алюмінієву підкладку з однорідним PTFE-покриттям з низьким коефіцієнтом тертя (товщина 15–30 мкм). Покриття забезпечує надзвичайно низький коефіцієнт тертя (≤0,1), чудову хімічну стійкість та антипригарні властивості, запобігаючи адгезії пластин та усуваючи забруднення зворотної сторони. Керамічна підкладка (99,8% Al₂O₃) забезпечує високу міцність на вигин (361–1000 МПа), зносостійкість та термостабільність до 260°C (межа покриття). Цей кінцевий ефектор ідеально підходить для роботи з делікатними, тонкими або липкими пластинами (наприклад, після фоторезистного покриття або хімічних процесів).
Специфікації (на основі підкладки з 99,8% Al₂O₃ з покриттям PTFE):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал основи | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Матеріал покриття | PTFE (тефлон) |
| Товщина покриття | 15–30 мкм |
| Коефіцієнт тертя (з покриттям) | ≤0,1 |
| Міцність основи на згин (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Твердість основи (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Щільність основи | 3,93 г/см³ |
| Макс. робоча температура (межа покриття) | 260°C |
| Шорсткість поверхні (до нанесення покриття) | Ra ≤0,4 мкм |
| Електрична міцність (підкладка) | 15×10⁶ В/м |
Примітка: Покриття з PTFE обмежує максимальну температуру до 260°C; для застосування за вищих температур слід розглянути керамічне або інше покриття без покриття.
Застосування:
- · Обробка пластин після нанесення фоторезистного покриття (липкі поверхні)
- · Перенесення тонких або крихких пластин (запобігає злипанню)
- · Інструменти для контролю та метрології напівпровідників
- · Автоматизація чистих приміщень, де забруднення частинками має бути мінімізоване
Виробничий процес:
Керамічна підкладка спікається та прецизійно шліфується → надання шорсткості поверхні (плазмове травлення або шліфування) → напилення PTFE-покриття → термозатвердіння при 380°C → остаточна перевірка. Кожен кінцевий ефектор перевіряється на товщину покриття (вихрові струми), адгезію (випробування на поперечний розріз ASTM D3359) та коефіцієнт тертя.
Контроль якості:
100% візуальний огляд на наявність отворів або бульбашок; рівномірність товщини покриття в межах ±5 мкм; відсутність розшарування після випробування на згинання 90° на зразку-свідці. Перевірка розмірів відповідно до допуску виробника оригінального обладнання (довжина ±0,05 мм, площинність ≤0,1 мм).
Переваги перед непокритими або іншими покриттями:
- · Антипригарна поверхня запобігає прилипання та поломці пластин
- · Найнижчий коефіцієнт тертя серед керамічних покриттів
- · Відмінна хімічна стійкість (кислоти, основи, розчинники)
- · Зменшує утворення частинок, запобігаючи перенесенню матеріалу
Обмеження (зауваження щодо відхилення матеріалу):
Покриття PTFE не отримано з наданих таблиць властивостей матеріалів (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Властивості основи суворо відповідають наданому технічному паспорту (99,8% Al₂O₃). Властивості покриття базуються на стандартних галузевих специфікаціях PTFE, оскільки дані про покриття не надані. Для застосувань, що перевищують 260°C, рекомендується використовувати керамічний кінцевий ефектор без покриття.*
Налаштування:
Доступні довжини 150–1500 мм, форми наконечників (із захватом по краях, Бернуллі, плоскі), схеми монтажних фланців згідно з кресленням виробника. Часткове покриття (лише контактні зони) або повне покриття за бажанням.
Замовте зразок для випробувань на адгезію та тертя.
