-
Керамічний робот-маніпулятор з високочистого оксиду алюмінію для обробки пластин
Керамічна робота-маніпулятор St.Cera з оксиду алюмінію виготовлена з високою точністю з високочистого Al₂O₃ (оксиду алюмінію) на 99,8%. Він поєднує виняткову міцність на вигин (361 МПа), високу твердість (16 ГПа) та низьку щільність (3,93 г/см³), що призводить до легкого, але жорсткого маніпулятора для перенесення напівпровідникових пластин. Коефіцієнт теплового розширення матеріалу (7,2×10⁻⁶/°C) точно відповідає кремнію, мінімізуючи теплову невідповідність під час обробки.
-
Керамічний кінцевий ефектор Bernoulli — безконтактне оброблення тонких і крихких пластин
Керамічний кінцевий ефектор Bernoulli від St.Cera використовує аеродинамічну підйомну силу для обробки пластин без фізичного контакту. Виготовлений з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) або карбіду кремнію (SiC) з вмістом палива, він оснащений прецизійно обробленими соплами, які викидають стиснений газ для створення тонкої повітряної плівки між кінцевим ефектором та пластиною. Цей принцип безконтактної роботи усуває забруднення задньої сторони, відколи країв та пошкодження поверхні, що робить його ідеальним для тонких (≤100 мкм), крихких або деформованих пластин. Керамічна підкладка забезпечує високу міцність на вигин (361 МПа для Al₂O₃; до 550–600 МПа для SiC), низьку масу та чудову розмірну стабільність, що гарантує повторюване позиціонування у високошвидкісних роботах для перенесення пластин.
-
Керамічний кінцевий ефектор з тефлоновим покриттям – антипригарна поверхня для чутливого поводження з пластинами
Керамічний кінцевий ефектор St.Cera з тефлоновим (PTFE) покриттям поєднує високоміцну алюмінієву підкладку з однорідним PTFE-покриттям з низьким коефіцієнтом тертя (товщина 15–30 мкм). Покриття забезпечує надзвичайно низький коефіцієнт тертя (≤0,1), чудову хімічну стійкість та антипригарні властивості, запобігаючи адгезії пластин та усуваючи забруднення зворотної сторони. Керамічна підкладка (99,8% Al₂O₃) забезпечує високу міцність на вигин (361–1000 МПа), зносостійкість та термостабільність до 260°C (межа покриття). Цей кінцевий ефектор ідеально підходить для роботи з делікатними, тонкими або липкими пластинами (наприклад, після фоторезистного покриття або хімічних процесів).
