Керамічний робот-маніпулятор з високочистого оксиду алюмінію для обробки пластин

Керамічна робота-маніпулятор St.Cera з оксиду алюмінію виготовлена ​​з високою точністю з високочистого Al₂O₃ (оксиду алюмінію) на 99,8%. Він поєднує виняткову міцність на вигин (361 МПа), високу твердість (16 ГПа) та низьку щільність (3,93 г/см³), що призводить до легкого, але жорсткого маніпулятора для перенесення напівпровідникових пластин. Коефіцієнт теплового розширення матеріалу (7,2×10⁻⁶/°C) точно відповідає кремнію, мінімізуючи теплову невідповідність під час обробки.

Специфікації (на основі 99,8% Al₂O₃):

Застосування:

- Роботи для вакуумного перенесення пластин (200 мм/300 мм)

- Системи обробки атмосферних речовин

- Кінцеві ефектори для автоматизації FAB

Виробничий процес:

Ізостатичне пресування → зелена обробка → спікання при 1600°C → точне шліфування на верстаті з ЧПК → ультразвукове очищення → упаковка для чистих приміщень класу 100. Кожен кронштейн проходить 100% перевірку за допомогою КВМ на площинність (±0,01 мм) та шорсткість поверхні (Ra ≤0,4 мкм).

Контроль якості:

Компанія St.Cera сертифікована за стандартом ISO 9001:2015. Ми проводимо випробування на мікротріщини методом проникнення барвника, триточковий згин на міцність на згин та випробування на діелектричну міцність згідно зі стандартом ASTM D149.

Переваги перед металевими озброєннями:

- На 50% легша за нержавіючу сталь

- Відсутність гальванічної корозії

- Менше утворення частинок (≤0,05 частинок/см²)

- Доступне покриття, стійке до електростатичної електрики (10⁶–10⁹ Ω/кв.м.)

Налаштування:

Довжина від 150 мм до 450 мм, форми наконечників (захоплення кромки, Бернуллі, вакуум) та схеми кріплення фланців згідно з кресленнями виробника оригінального обладнання. Прототипи протягом 2 тижнів.

Для оптових замовлень, будь ласка, запросіть цінову пропозицію.