ST.CERA Вакуумний кінцевий ефектор з глиноземної кераміки на замовлення
Короткий опис:
Це керамічний кінцевий ефектор/маніпулятор лоткового типу, що використовується у вакуумі.
Керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор є «більш термостійким», «менш прогинним» та «легшим» за вагою порівняно з металевими.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.