Антистатичні керамічні деталі з глинозему для роботи з чутливими до статичної електрики пластинами
Керамічні деталі St.Cera з оксиду алюмінію, безпечні до електростатичного розряду (ESD), виготовляються з високочистого Al₂O₃ з питомим опором поверхні 10⁶–10⁹ Ом/кв. см, що досягається за допомогою запатентованого процесу легування або покриття. Ці деталі ефективно розсіюють статичний заряд, запобігаючи електростатичному пошкодженню чутливих напівпровідникових пластин і пристроїв. Основний матеріал зберігає свою високу міцність на вигин (361 МПа), твердість (16 ГПа) та діелектричну міцність (15×10⁶ В/м). Керамічні деталі, безпечні до ESD, включають кінцеві ефектори, підйомні штифти, напрямні рейки та спеціальні кріплення для автоматизації FAB.
Специфікації(на основі 99,8% Al₂O₃ з обробкою ESD):
| Нерухомість | Значення |
| Базовий матеріал | 99,8% глинозему |
| Поверхневий питомий опір (ESD) | 10⁶–10⁹ Ом/кв. |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплове розширення (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимальна робоча температура | 800°C |
| Електрична міцність (об'ємна) | 15×10⁶ В/м |
Примітка: Питомий поверхневий опір електростатичного розряду не вказано в наданих таблицях властивостей матеріалів. Вказаний вище діапазон є галузевим стандартом для дисипативної кераміки. Будь ласка, зв'яжіться з нами для отримання звітів про випробування.
Застосування:
● Кінцеві ефектори, безпечні до електростатичних розрядів, для перенесення пластин
● Заземлюючі контакти та електростатичні пристосування в обладнанні FAB
● Перевірте розетки на наявність пристроїв, чутливих до статичної електрики
● Інструменти для чистих приміщень, де контроль статики є критично важливим
Виробництво та якість:
Стандартна обробка глинозему + обробка поверхні антистатичним розрядом → питомий поверхневий опір вимірюється згідно з ANSI/ESD STM11.11. Кожна деталь на 100% протестована концентричним кільцевим електродом.
Переваги:
● Запобігає втраті врожайності, пов'язаній з електростатичним розрядом
● Зберігає механічну міцність та хімічну стійкість кераміки
● Відсутність утворення частинок від статичного розряду
