Керамічне ущільнювальне кільце з високочистого оксиду алюмінію для герметизації високотемпературних камер
Керамічне ущільнювальне кільце St.Cera розроблено як альтернатива полімерним ущільнювальним кільцям у екстремальних умовах, де еластомери руйнуються. Виготовлене з 99,8% високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃), це жорстке ущільнювальне кільце використовується в статичних ущільненнях — зазвичай у поєднанні з м'якою металевою або графітовою прокладкою — для забезпечення надійного вакуумного або газоутримуючого ефекту за температур до 800°C та в агресивних плазмових або хімічних середовищах. Матеріал забезпечує нульове виділення газів, високу міцність на стиск (базова міцність на вигин 361 МПа) та хімічну інертність (стійкий до галогенів, кислот і лугів, крім HF). Прецизійно оброблені ущільнювальні поверхні (площинність ≤5 мкм, шорсткість поверхні Ra ≤0,2 мкм) забезпечують герметичний контакт зі з'єднаними металевими або керамічними компонентами.
Специфікації(на основі 99,8% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Поглинання води | 0% |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Міцність на стиск (прибл.) | >2000 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Теплове розширення (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимальна робоча температура | 800°C (повітря), 1600°C (інертний) |
| Оздоблення поверхні (герметизуюча поверхня) | Ra ≤0,2 мкм (притирання) |
| Площинність (на 25 мм) | ≤5 мкм |
| Швидкість витоку гелію | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (з відповідною прокладкою) |
Застосування:
- · Статичні ущільнення для напівпровідникових технологічних камер (CVD, PVD, травлення)
- · Ущільнення дверцят печі для високих температур
- · Вакуумні прохідні фланці
- · Закриття корпусів хімічних реакторів
Виробничий процес:
Ізостатичне пресування → спікання при 1600°C → точне двостороннє притирання для досягнення надплоских, гладких ущільнювальних поверхонь → зняття фаски по краях → ультразвукове очищення. Кожне кільце проходить 100% перевірку на герметичність за допомогою гелієвого детектора витоків зі стандартною металевою прокладкою.
Контроль якості:
- · Перевірка розмірів КВМ (внутрішній діаметр, зовнішній діаметр, товщина, паралельність)
- · Профілометр поверхні для визначення θ та хвилястості
- · Вимірювання площинності за допомогою оптичної плоскості
- · Випробування на витік гелію (метод зворотного тиску)
Переваги над полімерними кільцями ущільнювачів:
- · Витримує 800°C проти <300°C для FFKM
- · Нульове виділення газів — відсутність забруднення вакуумного середовища
- · Стійкий до всіх плазмових хімікатів (фтор, хлор, кисень)
- · Відсутність остаточної деформації при стисканні або залишкової деформації
- · Необмежений термін служби в чистому середовищі
Обмеження (критичні зауваження):
- · Не кільце ущільнювача— це жорстке керамічне кільце, для герметизації якого потрібна м’яка прокладка (мідна, алюмінієва або графітова).
- · Не враховує динамічний рух або значне зміщення фланців.
- · Вища початкова вартість, ніж у полімерних ущільнювальних кілець, але довший термін служби знижує вартість володіння.
- · Крихкий — поводьтеся обережно; уникайте точкових ударів або згинальних напружень.
Примітка:Наведені вище дані суворо відповідають наданій таблиці властивостей Al₂O₃. Дані щодо еластомерних матеріалів не надано. Цей продукт є статичним ущільнювальним кільцем, а не еластомерним кільцем круглого перерізу. Будь ласка, підтвердьте, чи відповідає він вимогам вашого застосування.
