Фокусувальне кільце з високочистої оксидної камери для систем плазмового травлення та CVD
Фокусувальне кільце камери St.Cera є критично важливим компонентом технологічного комплекту, що використовується в обладнанні для плазмового травлення, CVD та PVD напівпровідників. Виготовлене з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з вмістом 99,8%, кільце оточує край пластини, обмежуючи плазму та оптимізуючи кутовий розподіл іонів, тим самим покращуючи рівномірність травлення по всій поверхні пластини. Матеріал пропонує виняткову стійкість до плазми, високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м) та термостабільність до 1600°C, що гарантує довготривалу надійність в агресивних плазмових середовищах на основі фтору або хлору. Прецизійно відшліфований внутрішній/зовнішній діаметр та площинність (≤10 мкм) забезпечують точне позиціонування країв пластини, зменшуючи дефекти країв та утворення частинок.
Специфікації(на основі 99,8% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Поглинання води | 0% |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| В'язкість до руйнування | 3–4 МПа·м¹/² |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплопровідність | 32 Вт/м·к |
| Теплове розширення (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Електрична міцність | 15×10⁶ В/м |
| Питомий опір | >10¹⁴ Ом·см |
| Максимальна робоча температура | 1600°C |
Застосування:
- · Фокусувальні кільця камери діелектричного травлення (оксидне, нітридне травлення)
- · Кремнієві кільця для країв камери травлення
- · Кільця комплекту для обробки камери CVD
- · Захист камери PVD та затискні кільця
Виробничий процес:
Високочистий порошок оксиду алюмінію ізостатично пресується → обробляється до майже чистої форми → спікається при 1600°C → шліфування на верстаті з ЧПК алмазним способом внутрішнього та зовнішнього діаметрів, а також товщини → притирка для досягнення площинності ≤10 мкм → ультразвукове очищення → 100% контроль за допомогою CMM. Оздоблення поверхні Ra ≤0,4 мкм мінімізує адгезію частинок.
Контроль якості:
- · 100% контроль розмірів (внутрішній діаметр, зовнішній діаметр, товщина, паралельність)
- · Випробування барвником на наявність мікротріщин (тріщини не допускаються)
- · Візуальний огляд під мікроскопом 20× — відсутність сколів, пустот або змін кольору
- · Випробування на електричну міцність згідно з ASTM D149 (відбір проб)
Переваги над кремнієвими або кварцовими фокусувальними кільцями:
- · У 5–10 разів довший час життя у фторвуглецевій плазмі
- · Відсутність витратних частинок, що піддаються ерозії, які можуть забруднювати пластини
- · Вища діелектрична міцність запобігає утворенню дуги
- · Зберігає площинність та точність розмірів протягом тисяч годин радіочастотного випромінювання
Альтернативний матеріал — стабілізований ітрієм цирконій (ZrO₂):
Для застосувань, що потребують вищої міцності на розрив (наприклад, камери з частими термоциклічними змінами або механічними ударами), доступні фокусувальні кільця з ZrO₂ (щільність 6,03 г/см³, міцність на вигин 1000 МПа, міцність на розрив 5–8 МПа·м¹/²). Однак, оксид алюмінію пропонує кращу економічну ефективність і є галузевим стандартом для більшості застосувань фокусувальних кілець.
Налаштування:
- · Східчасті профілі, роззенкування або монтажні отвори згідно з кресленням замовника
- · Покриття Y₂O₃ для підвищеної стійкості до плазмової ерозії (товщина 20–100 мкм)
- · Лазерне маркування номера деталі, коду дати або позначок вирівнювання
Примітка:Усі дані суворо відповідають наданій таблиці властивостей Al₂O₃. Щодо специфікацій ZrO₂, зверніться до наданого технічного паспорта цирконію. Конструкції фокусувальних кілець можуть вимагати отримання патентного дозволу — клієнти несуть відповідальність за перевірку прав інтелектуальної власності.
