Газорозподільна плита з глинозему для душової лійки CVD/PVD
Газорозподільна пластина (душова лійка) St.Cera виготовлена з високоякісної кераміки з оксидом алюмінію високої чистоти (99,8%). Вона має масив мікроотворів (діаметром 0,3–1,5 мм), які забезпечують рівномірний потік газу по поверхні пластини під час процесів CVD, PVD або ALD. Висока діелектрична міцність пластини (>15×10⁶ В/м) та плазмовий опір роблять її важливою для осадження тонких плівок напівпровідників.
Технічні характеристики:
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% Al₂O₃ або SiC |
| Діаметр | 100 – 1500 мм (круглі) або прямокутні |
| Товщина | 5 – 20 мм |
| Діаметр отвору | 0,3 – 1,5 мм |
| Візерунок отворів | На замовлення (трикутний, квадратний, радіальний) |
| Плоскість | ≤10 мкм по всій площі |
| Шорсткість поверхні | Ra ≤0,6 мкм (газова сторона) |
| Коефіцієнт відкритої площі | 5–15% |
Застосування:
Душові лійки PECVD
Газові форсунки ALD
Газорозподільні пластини камери травлення
Компоненти реактора MOCVD
Виробництво:
Алюмінієва підкладка, оброблена плоскою поверхнею → Свердління на верстатах з ЧПК алмазним покриттям (допуск положення отвору ±0,02 мм) → видалення задирок → ультразвукове очищення → Упаковка класу 100.
Контроль якості:
Кожна пластина проходить 100% перевірку на розмір отвору (система візуального спостереження), площинність (лазерний інтерферометр) та рівномірність потоку газу (картографування тиску). Відсутність мікротріщин під 20-кратним мікроскопом.
Переваги перед металевими пластинами:
Відсутність металевих забруднень у тонких плівках
Менше утворення частинок (відсутність корозійних пластівців)
Витримує агресивне очищення плазмою (CF₄, NF₃)
Користувацькі функції:
Задні газові канали, роззенковані отвори, ущільнення країв та різні марки матеріалів (SiC для вищої теплопровідності, покриття Y₂O₃ для плазмостійкості).
Ми забезпечуємо перевірку CAD та моделювання потоку перед виробництвом.
