Керамічний опорний штифт для напівпровідникових технологічних приладів
Керамічні опорні штифти St.Cera (також відомі як підйомні штифти або опорні штифти) використовуються в камерах для обробки напівпровідників для підняття пластин або підкладок під час обробки, нагрівання або охолодження. Виготовлені з 99,8% оксиду алюмінію або нітриду кремнію, ці штифти забезпечують високу міцність на стиск, термостійкість та хімічну стійкість. Напівсферична або плоска конструкція кінчика запобігає подряпинам на пластині.
Специфікації(Оксид алюмінію 99,8%):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% Al₂O₃ або Si₃N₄ |
| Довжина | 10 – 100 мм |
| Діаметр | 1 – 10 мм |
| Форма кінчика | Плоскі, напівсферичні, загострені |
| Міцність на стиск (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Макс. робоча температура (Al₂O₃) | 1600°C |
| Оздоблення поверхні | Притирання (Ra ≤0,4 мкм) |
| Допуск діаметра | ±0,01 мм |
Застосування:
Підйомні штифти в камерах CVD/PVD
Опорні штифти для випікання на конфорці
Конструкції підтримки карток зондів
Опори для човнів з кварцової печі
Виробництво:
Прецизійне безцентрове шліфування зовнішнього діаметра → алмазне шліфування профілю кінчика → ультразвукове очищення → 100% розмірний контроль.
Контроль якості:
КВМ для визначення довжини/діаметра, оптичний компаратор для визначення радіуса кінчика, випробування навантаженням для перевірки міцності на стиск (випадковий зразок на партію). Відсутність феромагнітного забруднення (перевірено магнітом).
Переваги над металевими або кварцовими штифтами:
Термін служби в 5 разів довший, ніж у нержавіючої сталі
Відсутність забруднення металом у робочій камері
Вища температурна стійкість, ніж у кварцу (1600°C проти 1100°C)
Антипригарна поверхня (знижена адгезія частинок)
Налаштування:
Кілька профілів наконечника, різьбова основа або конічний вал.
Ми також постачаємо SiC-штифти для екстремальних плазмових середовищ.
