Вакуумний патрон на основі глинозему з пористої кераміки для обробки тонких пластин
Пористий патрон St.Cera на основі оксиду алюмінію виготовлений з високочистого Al₂O₃ (99,6%) з контрольованою відкритою пористістю 30–45% та рівномірним розміром пор від 10 до 50 мкм. На відміну від пазових патронів, пориста поверхня забезпечує розподілений вакуум по всій зворотній стороні пластини, усуваючи появу маркування на краях та забезпечуючи дбайливе утримання надтонких (≤100 мкм) або деформованих пластин. Матеріал має міцність на вигин ≥250 МПа та термостійкість до 400°C на повітрі.
Специфікації(на основі 99,6% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,6% глинозему (білий) |
| Пористість | 30–45% (регульовано) |
| Середній розмір пор | 10–50 мкм |
| Міцність на згин | ≥250 МПа |
| Щільність | 3,88 г/см³ |
| Плоскість (понад 200 мм) | ≤5 мкм |
| Максимальна робоча температура | 400°C (повітря) |
| Оздоблення поверхні | Притирання (Ra ≤0,8 мкм) |
Застосування:
- · Шліфування зворотного боку тонкої пластини (≤50 мкм)
- · Деформоване кріплення пластини для нарізки
- · Окремий підбирач штампа
- · Обробка скляної підкладки
Виробництво:
Порошок, змішаний з пороутворювачами → ізостатичне пресування → спікання при 1600°C → притирка до кінцевої товщини. Кожен патрон випробовується на рівномірність вакууму (відхилення тиску <5%) та перевіряється на розподіл розмірів пор (SEM).
Переваги перед звичайними патронами:
- · Відсутність маркування зворотної сторони пластини або зміщення кристала
- · Утримує пластини з вигином до 500 мкм
- · Самоочисна поверхня (пори стійкі до засмічення)
- · Рівномірна підтримка усуває локальне напруження
Cналаштування:
Кругла або квадратна форма, діаметр 100–450 мм. Доступне кільце ущільнення країв для зонального регулювання вакууму.
Замовте зразок пластини вашого конкретного розміру.
