12-дюймовий вакуумний патрон з глинозему для обробки пластин 300 мм
12-дюймовий вакуумний патрон St.Cera виготовлений з високою точністю з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) на 99,8% для роботи з пластинами діаметром 300 мм. Патрон має дрібнорифлену поверхню (ширина канавок 0,5–1,0 мм, крок 2–3 мм) для забезпечення рівномірного розподілу вакууму по всьому діаметру 300 мм. Плоскість підтримується в межах 5 мкм, що дозволяє фіксувати пластину без деформації під час нарізання, шліфування зворотного боку та контролю. Висока міцність матеріалу на вигин (361 МПа) та твердість (16 ГПа) гарантують довготривалу розмірну стабільність навіть при багаторазових циклах вакуумування.
Специфікації (на основі 99,8% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Діаметр | 300 мм (12 дюймів) |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Площинність (понад 300 мм) | ≤5 мкм |
| Ширина канавки | 0,5–1,0 мм |
| Максимальна робоча температура | 800°C |
| Електрична міцність | 15×10⁶ В/м |
Застосування:
Нарізка та скрайбірування пластин 300 мм
Шліфування зворотного боку пластини (тонка підтримка пластини)
Оптичний огляд та зондування
Тимчасові патрони для склеювання/відклеювання
Виробництво:
Шліфування та притирання на верстаті з ЧПК до остаточної площинності, нанесення канавок алмазними кругами, ультразвукове очищення та упаковка в чистому приміщенні класу 100. Кожен патрон проходить 100% перевірку на площинність (лазерний інтерферометр) та глибину канавок (профілометр).
Переваги:
Низький рівень утворення частинок (≤0,05 частинок/см²)
Хімічно інертний до розчинників та кислот
Поверхня, стійка до електростатичного розряду (питомий опір >10¹³ Ом·см)
Доступні спеціальні візерунки вакуумних отворів та задні порти.
