Стандартний вакуумний патрон на основі глинозему – висока жорсткість для прецизійної обробки
Цей вакуумний патрон на основі оксиду алюмінію виготовлений з 99,8% Al₂O₃, що забезпечує гладку непористу поверхню зі спеціальними вакуумними канавками. Він забезпечує виняткову жорсткість (модуль Юнга 380 ГПа) та площинність (≤3 мкм), що робить його ідеальним для прецизійного шліфування, притирання та нарізання напівпровідникових пластин та оптичних компонентів. Висока теплопровідність матеріалу (32 Вт/м·К) забезпечує рівномірність температури під час обробки.
Специфікації(на основі 99,8% Al₂O₃):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Модуль Юнга | 380 ГПа |
| Теплопровідність | 32 Вт/м·к |
| Плоскість | ≤3 мкм (понад 200 мм) |
| Шорсткість поверхні (з боку патрона) | Ra ≤0,4 мкм |
| Максимальна робоча температура | 800°C |
Застосування:
- · Шліфування зворотної сторони пластини (грубе та дрібне)
- · Точне нарізання крихких матеріалів кубиками
- · Притирка керамічних підкладок
- · Полірування оптичних лінз
Виробництво:
Точне притискання обох сторін → алмазне нарізання канавок (опціонально) → заокруглення кромок → ультразвукове очищення → 100% контроль площинності за допомогою лазерного інтерферометра.
Aпереваги:
- · Жорстка опора мінімізує прогин під навантаженням
- · Відсутність утворення частинок з пористої структури
- · Легко очищується (сумісний з розчинниками)
- · Вакуумні канавки, що налаштовуються (концентричні, радіальні, нестандартні візерунки)
Доступні розміри:
Круглі: 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм; квадратні/прямокутні на запит.
Ми також пропонуємо версії на металевій основі для підвищеної механічної міцності.
