-
ST.CERA Керамічні патрони для напівпровідникового обладнання на замовлення
Критично важливий процес у напівпровідниковій галузі потребує виконання в чистих приміщеннях, особливо для тих пристроїв, які повинні використовуватися в умовах високої температури, вакууму та агресивного газу. Кераміка може зберігати високу стабільність у складному фізичному та хімічному середовищі.
-
ST.CERA Керамічна пластина на замовлення напівпровідникового обладнання
Критично важливі процеси в галузі напівпровідників потребують виконання в чистих приміщеннях, особливо для тих пристроїв, які повинні використовуватися в умовах високої температури, вакууму та агресивного газу. Кераміка може зберігати високу стабільність у складних фізичних та хімічних середовищах.
-
ST.CERA Керамічне кільце фокусування з напівпровідника на замовлення
Критично важливий процес у напівпровідниковій галузі потребує виконання в чистих приміщеннях, особливо для тих пристроїв, які повинні використовуватися в умовах високої температури, вакууму та агресивного газу. Кераміка може зберігати високу стабільність у складному фізичному та хімічному середовищі.
-
Керамічний важіль навантажувача ST.CERA з індивідуальним виготовленням з глинозему 99,5%
Керамічний кінцевий ефектор / маніпулюючий важіль встановлений на роботі для обробки пластин або «кінцевих ефекторах» і використовується для перенесення кремнієвих пластин у касети або технологічні камери або з них.
Перевагами використання кераміки є зменшення прогину завдяки високій міцності на згин, стійкість до високих температур та усунення забруднення металом та частинок. -
Кінцевий ефектор ST.CERA з глиноземної кераміки на замовлення
ST.CERA пропонує кінцевий ефектор з антистатичним покриттям та керамічним матеріалом ESD. Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений холодним ізостатичним пресуванням, високотемпературним спіканням та прецизійною обробкою, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має ступінь обробки поверхні Ra 0,1 та термостійкість 1600 ℃.
-
Керамічне кільце фокусування ST.CERA на замовлення напівпровідникового типу
Виготовлені з високочистої (понад 99,5%) глиноземної кераміки, сформованої методом холодного ізостатичного пресування та спеченої за високої температури, а потім точно оброблені та відполіровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
ST.CERA Індивідуальна напівпровідникова прецизійна глиноземна керамічна втулка
Виготовлені з високочистої (понад 99,5%) глиноземної кераміки, сформованої методом холодного ізостатичного пресування та спеченої за високої температури, а потім точно оброблені та відполіровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
ST.CERA Вакуумний кінцевий ефектор з глиноземної кераміки на замовлення
Це керамічний кінцевий ефектор/маніпулятор лоткового типу, що використовується у вакуумі.
Керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор є «більш термостійким», «менш прогинним» та «легшим» за вагою порівняно з металевими.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Керамічні трубки та керамічні стрижні з глинозему 99,5% на замовлення від ST.CERA
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
-
Обробка пластин кінцевого ефектора ST.CERA на замовлення з глиноземної кераміки
ST.CERA пропонує кінцевий ефектор/маніпулятор з антистатичним покриттям та керамічним матеріалом ESD з вбудованим порожнистим каналом. Ми спеціалізуємося на техніці, яка формує вакуумний повітряний канал всередині цільного шматка матеріалу без використання клею.
Немає ризику забруднення, виділення газів або частинок. Вакуумний кінцевий ефектор/маніпулятор ST.CERA зі спеціальною технологією покриття має електроізольацію. Ми також можемо виготовити керамічний матеріал ESD з електроізольацією без будь-якого покриття.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃. -
Компоненти напівпровідникового обладнання з глиноземної кераміки для кінцевого ефектора
Запобігайте потраплянню частинок, які можуть утворюватися зі скошених або кутових країв та задньої поверхні під час транспортування пластин або їх контакту з кінцевим ефектором/маніпулятором.
Для напрямних використано м'який матеріал, який не пошкоджує пластину.
Розрідження можливе завдяки вбудованій технології вакуумних каналів ST.CERA, яка не використовує клеї.
Можливість виконання монтажних отворів та зміни довжини та ширини основи, де на роботу монтується кінцевий ефектор / маніпулятор.
Кріплення датчиків, гвинтів та кронштейнів доступне як опція.
Призначений для використання в атмосфері.
-
Індивідуальна обробка на верстатах з ЧПК керамічного кінцевого ефектора St.Cera
ST.CERA пропонує вакуумний керамічний кінцевий ефектор / маніпулятор із вбудованим порожнистим каналом. Ми спеціалізуємося на техніці, яка формує вакуумний повітряний канал всередині цільного шматка матеріалу без використання клею.
Немає ризику забруднення, виділення газів або частинок. Вакуумний кінцевий ефектор/маніпулятор ST.CERA з вбудованим каналом є міцним та може використовуватися за високих температур. Крім того, наші виробничі витрати можна зменшити, виключивши непотрібне складання.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
