Керамічне кільце фокусування ST.CERA на замовлення напівпровідникового типу
Виготовлені з високочистої (понад 99,5%) глиноземної кераміки, сформованої методом холодного ізостатичного пресування та спеченої за високої температури, а потім точно оброблені та відполіровані, керамічні запасні частини можуть відповідати будь-яким суворим вимогам напівпровідникового обладнання завдяки своїм характеристикам зносостійкості, корозійної стійкості, низького теплового розширення та ізоляції.
Завдяки високій термостійкості, корозійній стійкості, стійкості до стирання та ізоляції, кераміка може працювати в багатьох видах обладнання для виробництва напівпровідників в умовах високої температури, вакууму або агресивного газу протягом тривалого часу.
Виготовлений з високочистого порошку оксиду алюмінію, оброблений методом холодного ізостатичного пресування, високотемпературного спікання та прецизійної обробки, він може досягати допуску розмірів ±0,001 мм, має поверхневу обробку Ra 0,1 та термостійкість 1600℃.
