Керамічний кінцевий ефектор з карбіду кремнію (SiC) – висока жорсткість для обробки пластин за високих температур
Керамічний кінцевий ефектор St.Cera SiC виготовлений з високочистого карбіду кремнію (вміст SiC 99,72%, вільного Si 0,05%) з використанням шихти S1111. Він має виняткові механічні властивості: міцність на згин 449 МПа (виміряна), модуль пружності 457 ГПа (виміряний) та твердість за Віккерсом 25–28 ГПа (типова). Низька щільність (3,10–3,15 г/см³, типова) забезпечує високу питому жорсткість, ідеальну для високошвидкісних роботів для перенесення пластин. З теплопровідністю 120–150 Вт/м·K (типова) та коефіцієнтом теплового розширення 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типова), цей кінцевий ефектор ефективно розсіює тепло та підтримує стабільність розмірів під час обробки за високих температур (до 1600–1700°C, без навантаження). Чорно-сірий колір та нульове водопоглинання забезпечують сумісність з чистими приміщеннями.
Специфікації(на основі наданого звіту про випробування SiC S1111 та типових значень):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | Карбід кремнію (99,72% карбіду кремнію, 0,05% вільного кремнію) |
| Колір | Чорний/Сірий |
| Щільність | 3,10–3,15 г/см³ |
| Поглинання води | 0% |
| Міцність на згин | 449 МПа (середнє) |
| В'язкість до руйнування | 3,12 МПа·м¹/² (середнє значення) |
| Модуль пружності | 457 ГПа |
| Твердість за Віккерсом | 25–28 ГПа |
| Теплопровідність (25°C) | 120–150 Вт/м·K |
| КТР (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимальна температура використання (без навантаження) | 1600–1700°C |
Застосування:
● Обробка пластин за високих температур (після відпалу, RTP, епітаксія)
● Камери плазмового травлення, що вимагають високої стійкості до ерозії
● Високошвидкісні роботи для переміщення (легкі, високої жорсткості)
Виробництво:
Спікання порошку SiC → прецизійне шліфування профілю кронштейна та монтажних елементів на верстаті з ЧПК → притирання поверхні → ультразвукове очищення. 100% розмірний контроль та випробування на герметичність гелієм для вакуумного застосування.
Контроль якості:
● Перевірка довжини, ширини та площинності за допомогою КВМ
● Випробування на міцність на згин для кожної партії (відповідно до стандартного звіту про випробування)
● Візуальний огляд під мікроскопом на наявність поверхневих дефектів
Переваги над глиноземом або металом:
● У 2 рази вищий модуль пружності (457 проти ~380 ГПа для глинозему) – менший прогин
● У 3 рази вища теплопровідність – швидше відведення тепла
● Витримує >1600°C порівняно з 800°C оксиду алюмінію на повітрі
● Менша щільність, ніж у сталі – зменшення ваги на 40%
Налаштування:
Довжина 150–450 мм, форми наконечників (захоплення кромкою, Бернуллі, плоскі), схеми кріплення фланців згідно з кресленням виробника виробника.
*Усі вищезазначені механічні дані взяті з наданого звіту про випробування (партія S1111). Значення термічної стійкості та твердості є типовими для цієї марки SiC; будь ласка, зв'яжіться з нами для сертифікації конкретної партії.*
