Великоформатна керамічна пластина з глинозему для напівпровідникових та промислових приладів
Компанія St.Cera виготовляє великоформатні керамічні пластини з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з максимальними розмірами до 1500 мм завдовжки та 600 мм завширшки. Наші можливості точного шліфування дозволяють досягти площинності 0,003 мм на 100 мм та паралельності 0,002 мм, що забезпечує стабільну якість поверхні для застосування на великих площах. Товщина до 100 мм, обробка поверхні до Ra0.1. Ці пластини служать основами вакуумних патронів, нагрівальними плитами, електроізоляційними панелями та днищами технологічних камер у виробництві напівпровідників, дисплеїв та фотоелектричних приладів. Доступні наскрізні отвори, зенковки та профілювання кромок.
Технічні характеристики (на основі 99,8% Al₂O₃& Виробничі потужності St.Cera):
| Нерухомість | Значення |
| Матеріал | 99,8% глинозему (слонова кістка) |
| Щільність | 3,93 г/см³ |
| Міцність на згин | 361 МПа |
| Твердість за Віккерсом | 16 ГПа |
| Електрична міцність | 15×10⁶ В/м |
| Максимальна довжина | 1500 мм |
| Максимальна ширина | 600 мм |
| Максимальна товщина | 100 мм |
| Плоскість (на 100 мм) | 0,003 мм |
| Паралелізм | 0,002 мм |
| Оздоблення поверхні | Ra0.1 (притираний/полірований) |
| Максимальна робоча температура | 1600°C |
Застосування:
- · Вакуумні опорні плити для великих пластин та панелей
- · Нагрівальні плити для обладнання для термічної обробки
- · Електроізоляційні панелі у високовольтних системах
- · Підлоги та облицювальні плити технологічних камер
Точність виготовлення:
Прямолінійність: 0,005 мм, перпендикулярність: 0,005 мм, перевірено лазерним інтерферометром.
Переваги перед металевими пластинами:
- · Відсутність металевого забруднення – критично важливо для напівпровідникових процесів
- · Нульове виділення газів – ідеально підходить для вакуумного середовища
- · Чудова зносостійкість та хімічна стійкість
Налаштування:
Доступні нестандартні шаблони отворів, профілі країв, ступінчасті поверхні та металізовані монтажні зони.
