Ізоляційне кільце з оксиду алюмінію PVD для систем фізичного осадження з парової фази

Ізоляційне кільце St.Cera, виготовлене методом PVD, виготовлене з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з вмістом 99,8% для використання в системах фізичного осадження з парової фази (PVD). Кільце забезпечує електричну ізоляцію між компонентами камери, запобігаючи утворенню дуги та забезпечуючи стабільну роботу плазми. Ключові властивості включають високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м), питомий опір >10¹⁴ Ом·мм²/м та термостабільність до 1600°C. Наші можливості прецизійної обробки дозволяють виготовляти зовнішні діаметри до 600 мм, внутрішні діаметри до 0,2 мм, площинність 0,003 мм та якість обробки поверхні Ra0.1. Нульова пористість та хімічна інертність кільця забезпечують довготривалу надійність в агресивних середовищах напилення.

Технічні характеристики (на основі 99,8% Al₂O₃& Виробничі потужності St.Cera):

Застосування:

• · Ізолятори опорних пластин мішеней у системах PVD
• · Прохідні ізолятори камери
• · Екрануючі кільцеві ізолятори в системах напилення
• · Високовольтна ізоляція в плазмових камерах

Точність виготовлення:

Концентричність: 0,01 мм, округлість: 0,002 мм, прямолінійність: 0,005 мм, перпендикулярність: 0,005 мм, перевірено КВМ.

Aпереваги перед полімерними ізоляторами:

• · Витримує 1600°C порівняно з граничним значенням <300°C для полімеру
• · Відсутність виділення газів – зберігається цілісність вакууму
• · Стійкість до плазмової ерозії та хімічного впливу

Налаштування:

Доступні індивідуальні поперечні перерізи, монтажні елементи, ступінчасті профілі та різні конструкції концентричних кілець.